净化工程(无尘室)是一项应用非常广泛的基础配套产业，目前在食品、化妆品、生物制药、医疗器械、电子信息、半导体、精密制造、航空航天、汽车涂装等许多行业都有应用，在等级上也有很大的差异。净化工程专门设计的房间具有保温、保湿、保洁、保压等功能。不管外面的空气状况如何变化。因此在净化工程(洁净室)上造价的影响因素也有很多方面。
洁净室的温度和湿度主要根据工艺要求确定，但在满足工艺要求的情况下，应考虑人体舒适度。随着空气洁净度要求的提高，工艺的温湿度要求有越来越严格的趋势。随着加工精度越来越高，对温度波动范围的要求也越来越小。直径为100 um的硅片，温度上升1度时，线膨胀为0.24um，所以必须保持0.1度的恒温，湿度值一般较低，因为人出汗后会污染产品，特别是半导体车间怕钠，不宜超过25度。湿度过大会导致更多问题。当相对湿度超过55%时，冷却水管壁会发生冷凝，如果发生在精密器件或电路中，会造成各种事故。当相对湿度为时，容易生锈。另外，湿度过高时，粘附在硅片表面的灰尘会被空气中的水分子化学吸附，难以去除。相对湿度越高，越难去除粘连。然而，当相对湿度低于30%时，由于静电力，颗粒容易吸附在表面上，并且大量半导体器件易于击穿。
